湖南制药净化厂房 东安县净化工程 永州市雄浦钢结构净化工程有限公司无尘车间是属于人造环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路技术的快速成长,也增加了对制造环境(无尘车间)洁静度的需求,在工业上即使粒子的尺寸小于1微米,也可能阻碍产品的生产运作或降低其寿命。 由于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断的增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导**,可能将其腐蚀,所以无尘车间为集成电路制造不可或缺的要素。看洁净车间是否达到要求的标准,要经过一系列的测试:1、测试洁净车间送风量与排风量:如果是紊流洁净车间,那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流洁净车间,则要测量其风速。2、各区之间的气流控制:为证明各区之间气流运动方向正确,也就是从洁净区向洁净度差的区域流动,必须检测:洁净车间各区间的压差正确;车间门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确,即从洁净区向洁净程度差的区域流。3、对洁净车间过滤器进行检漏。对高效过滤器及其外框要进行检验,以保证悬浮污染物不会穿
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